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四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司（688665.SH）的全資子公司，前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測(cè)量方案的高新技術(shù)企業(yè)，服務(wù)于環(huán)境監(jiān)測(cè)、過程氣體監(jiān)測(cè)、智慧計(jì)量等領(lǐng)域。 基于四方光電核心氣體傳感技術(shù)平臺(tái)的優(yōu)勢(shì)，四方儀器開發(fā)了系列非分光紅外（NDIR）、紫外差分吸收光譜（UV-DOAS）、激光拉曼（LRD）、超聲波（Ultrasonic）、熱導(dǎo)（TCD）、光散射探測(cè)（LSD）等技術(shù)原理的氣體成分流量?jī)x器儀表，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于環(huán)境...
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2025年10月17日，中國內(nèi)燃機(jī)工業(yè)協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)賈濱一行蒞臨四方光電參觀考察，湖北省汽車工程學(xué)會(huì)、湖北省內(nèi)燃機(jī)學(xué)會(huì)及華中科技大學(xué)能源學(xué)院的多位專家學(xué)者隨行參訪。...
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一、半導(dǎo)體制造中氧監(jiān)測(cè)的重要性與難點(diǎn)在半導(dǎo)體制造過程中，氧污染會(huì)引發(fā)不必要的氧化反應(yīng)，導(dǎo)致集成電路和硅片產(chǎn)生缺陷，進(jìn)而破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性，嚴(yán)重影響產(chǎn)品的均勻性與可靠性。因此，半導(dǎo)體制造商必須對(duì)工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控，即便是微量氧氣（低至ppm級(jí)）也可能顯著損害元件性能。目前，半導(dǎo)體工藝氣體中的氧監(jiān)測(cè)主要面臨以下技術(shù)難點(diǎn)：需實(shí)現(xiàn)10ppm以下超低濃度氧的精確檢測(cè)；需支持真空環(huán)境下的持續(xù)氧濃度監(jiān)測(cè)；需在還原性氣氛中確保設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行。在眾多氣體檢測(cè)技術(shù)中，氧...
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